notícias da empresa sobre Navegando na IED da UE: Redução de riscos no controle de contaminação da câmara via cerâmicas usináveis

Com o lançamento da directiva revisada sobre as emissões industriais (DIE), as regras ambientais europeias para a fabricação de semicondutores, o processamento de superfície de precisão, a produção de produtos químicos e de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos e de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos e a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos, a produção de produtos químicos e a produção de produtos químicos.Os equipamentos industriais de alto vácuo passaram do tratamento no final do tubo para a prevenção da poluição na fonte e as auditorias das melhores técnicas disponíveis (MTD).O IED estabelece limiares de conformidade legal rigorosos no que diz respeito àEmissões de compostos orgânicos voláteis (COV), liberação de gases tóxicos em traços e gestão de resíduos de processosEm ambientes de ultra-alto vácuo (UHV), gravação por plasma a alta temperatura e deposição química de vapor (CVD), os polímeros tradicionais e os conjuntos ligados por adesivos decompõem-se para libertar COV,enquanto as cerâmicas sinterizadas tradicionais correm o risco de gerar partículas.Macor® Cerâmica de vidro maquinável, concebido como um substrato inorgânico 100% limpo, de porosidade zero, com capacidade de mecanização sem sinterização,fornece aos OEMs globais uma solução estratégica para otimizar o controle de contaminação da câmara e cumprir as auditorias de IED.

1Obstáculos da indústria: Riscos de contaminação da fonte no âmbito das auditorias de IED

No âmbito das rigorosas auditorias das MTD e do estrito quadro de responsabilização das emissões exigido pelo DIE, os materiais da câmara interna revelam vulnerabilidades críticas de conformidade:

• Desgaseamento térmico de polímeros e riscos de emissão de COV: Os polímeros de alto desempenho (p. ex., PTFE, PEEK) e as colas orgânicas sofrem micro-degradação em estado de vácuo térmico, emitindo vestígios de COV e gases fluorados.Isto degrada os rendimentos dos semicondutores e viola os limites de emissões de gases de origem industrial.

• Riscos de geração de partículas e de resíduos industriais da cerâmica tradicional: As cerâmicas sinterizadas convencionais, como a alumina, exibem frequentemente micro-porosidade superficial ou tensão interna, resultando em descamação de partículas sob bombardeio de plasma.Isto aumenta a frequência de limpeza da câmara e a geração de resíduos sólidos industriais.

2Avanço tecnológico: redução das fontes de IED através do Macor® inorgânico

O Macor® apresenta uma microestrutura inorgânica única composta por plaquetas de mica de fluoroflogopita de 55%, inseridas numa matriz de vidro de borosilicato de 45%.Está directamente alinhado com os princípios de prevenção da poluição por EIE:

• Matriz inorgânica 100% pura garante zero emissões de COV: Como um isolante inorgânico absolutamente denso, com um0% de porosidade química, Macor® oferece uma resistência dielétrica de45 kV/mmjunto de um teto térmico contínuo até800°CDá.zero emissões e zero COVsob vácuo térmico elevado, garantindo a conformidade natural com os limites de emissão de gases dos IED.

• 0% Redução do resíduo sólido após a usinagem e da filiagem interna direta: O Macor® pode ser usinado directamente com equipamento CNC padrão, com uma precisão de nível de micrômetro com0% de encolhimento pós-máquinação (sem sinterizador)A sua estrutura densa impede o escoamento de partículas e permitecom um diâmetro superior a 50 mm,para substituir adesivos, reduzindo o desperdício de processo durante a manutenção.

3Evidências baseadas em dados: métricas físicas normalizadas para auditorias de IED

Para os diretores de contratos públicos e os responsáveis pela conformidade ambiental que compilam os processos de conformidade com as MTD do IED, as propriedades físicas verificadas do Macor®® oferecem uma justificação explícita: