|
Detalhes do produto:
|
| Aplicação: | circuitos integrados, dispositivo do detector/sensor, fabricação de MEMS, componentes opto-eletrônic | Diâmetro: | Ø 2"/Ø 3"/Ø 4"/Ø 6"/Ø 8"/Ø 12" |
|---|---|---|---|
| Espessura do óxido: | 100 A ~ 6 um | Categoria: | Categoria principal/teste/manequim |
| Destacar: | Bolacha térmica do óxido da uniformidade mais alta,Bolacha térmica do óxido como o isolador,2" bolacha de silicone térmica do óxido |
||
Bolacha térmica do óxido, uniformidade mais alta, e força dielétrica mais alta, camada dielétrica excelente como um isolador
A camada térmica do dióxido do óxido ou de silicone é formada na superfície desencapada do silicone na temperatura elevado na presença de um oxidante, o processo é chamada oxidação térmica. O óxido térmico é crescido normalmente em uma fornalha de tubo horizontal, na variação da temperatura de 900°C ~ 1200°C, usando “um método molhado” ou “seco” do crescimento. O óxido térmico é um tipo da camada “crescida” do óxido, comparado ao CVD depositou a camada do óxido, tem uma uniformidade mais alta, e uma força dielétrica mais alta, é uma camada dielétrica excelente como um isolador. Na maioria de silicone baseou dispositivos, a camada térmica do óxido joga um papel importante para pacificar a superfície do silicone para atuar como a lubrificação de barreiras e como os dielétricos de superfície. nós fornecemos a bolacha térmica do óxido no diâmetro de 2" a 12", nós escolhemos sempre a categoria e o defeito principais - bolacha de silicone livre como a carcaça para crescer a camada térmica do óxido da uniformidade alta para cumprir suas exigências específicas. Contacte-nos para mais informações sobre do preço & do prazo de entrega.
Capacidade térmica do óxido
Tipicamente após o processo térmico da oxidação, a parte anterior e o verso da bolacha de silicone têm a camada do óxido. Caso que somente uma camada lateral do óxido é exigida, nós podemos remover para trás a bolacha térmica do óxido e do óxido do lado da oferta uma para você.
| Escala da espessura do óxido | Técnica da oxidação | Dentro da bolacha uniformidade |
Bolacha à bolacha uniformidade |
Superfície processada |
|---|---|---|---|---|
| 100 Å ~ 500Å | óxido seco | +/- 5% | +/- 10% | ambos os lados |
| 600 Å ~ 1000Å | óxido seco | +/- 5% | +/- 10% | ambos os lados |
| 100 nanômetro ~ 300 nanômetro | óxido molhado | +/- 5% | +/- 10% | ambos os lados |
| 400 nanômetro ~ 1000 nanômetro | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
| 1 um ~ 2 um | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
| 3 um ~ 4 um | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
| 5 um ~ 6 um | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
Aplicação térmica da bolacha do óxido
| 100 A | Portas da escavação de um túnel |
| 150 A ~ 500 A | Óxidos da porta |
| 200 A ~ 500 A | Os LOUCOS acolchoam o óxido |
| A 2000 ~ 5000 A | Óxidos de máscara |
| 3000 A ~ 10000 A | Óxidos do campo |
Especificação de produto
| Técnica de Qxidation | Oxidação molhada ou oxidação seca |
|---|---|
| Diâmetro | Ø 2"/Ø 3"/Ø 4"/Ø 6"/Ø 8"/Ø 12" |
| Espessura do óxido | 100 A ~ 6 um |
| Tolerância | +/- 5% |
| Superfície | Única camada lateral ou dobro do óxido dos lados |
| Fornalha | Fornalha de tubo horizontal |
| Gase | Gás do hidrogênio e do oxigênio |
| Temperatura | ° DE 900 C - ° 1200 DE C |
| R.I. | 1,456 |
![]()
Pessoa de Contato: Daniel
Telefone: 18003718225
Fax: 86-0371-6572-0196