Componentes de carburo de silício para equipamentos de semicondutores

Componentes de carburo de silício para equipamentos de semicondutores

O carburo de silício HuaCera tem um coeficiente de expansão térmica igual ao do silício e possui um elevado módulo elástico, elevada rigidez, inércia química, resistência ao desgaste extremamente elevada,e estabilidade térmica dimensional.
Utilizando métodos de moldagem de baixo custo, tais como prensagem a seco e prensagem isostática a frio, mantendo um elevado nível de pureza (superior a 99,9%),é uma escolha ideal para equipamentos utilizados na litografia por semicondutores, metrologia de wafer, ligação e limpeza
processos.
As principais aplicações incluem: chuques de vácuo, componentes de precisão (carris de guia, plataformas, bases), espelhos de carburo de silício, suportes, braços robóticos e outros componentes estruturais,e podem também ser utilizados como tubos de forno de alta temperatura.